대면적(4인치) 2차원 소재 합성 방법 및 이를 이용한 합성 장비

본 발명은 대면적(4인치) 2차원 소재 합성 방법 및 이를 이용한 합성 장비에 관한 것으로, 2차원 소재 (TMDC: 전이금속 칼코게나이드계) 물질은 원자 1~2층 만으로도 우수한 반도체 성능을 보여 점점 소형화되고 있는 메모리, 부피대비 넓은 표면적이 필요한 센서 등 다양한 분야에서 떠오르는 새로운 물질이다. 하지만 해당 물질을 상용화하기 위해서는 대면적 합성 기술이 필수적이다.이에 TMDC 물질을 대면적 (4인치)로 합성할 수 있는 공정 기술과 장비를 제공한다.