노즐 및 이를 갖는 기판 처리 장치

본 발명은 기판 처리 장치에 사용되는 노즐 유닛에 관한 것으로, 본 발명의 노즐 유닛은 기판으로 현상액을 토출하는 제1노즐; 상기 제1노즐의 토출 위치와 동일한 토출 위치를 갖으며, 기판으로 린스액을 토출하는 제2노즐; 상기 제1노즐과 상기 제2노즐이 설치되는 아암; 및 상기 아암을 이동시키는 노즐 구동부를 포함하되; 상기 제1노즐은 단면 형상이 슬릿 형태로 이루어지는 토출구가 일면에 형성된 토출 몸체를 포함하고; 상기 토출 몸체의 상기 일면은 현상액이 사선으로 토출되도록 기판의 회전방향으로 경사지게 형성된다. 패들,현상,회전,노즐,슬릿